LH300氣相沉積系統設備規格：
電力使用規格: 1Ø /220v/50~60Hz 30A。
使用數位LED真空度計顯示終極及工作真空度。
真空沉淀室容積: 300mm X 300mm。
高溫裂解爐 : 2000w。
真空系統規格: 真空馬達:1Ø /220v /50~60Hz。真空度: 5x10^-4 Torr 。排氣速度: 200L/min。
占地面積: 850x800x1930mm
 
LH300氣相沉積系統設備優點：
聚合沉積室容積 :300mm X 300mm，可供12寸晶圓制程使用
采上掀式設計便於進行腔體清潔及維護?
所有真空管路采用不銹鋼連節，各節口皆可做測漏點，以利維護及保養
增加終級壓力系統，非常適用於教學及實驗室使用
操作簡易，維護簡易，服務迅速
設備占地小,可靈活置放.
有效鍍膜容積: 300X300mm,采小型艙體的設計,最適用于少量多樣化的各式實驗物件鍍膜.