Parylene具備在MEMS領域中運用的特點! 接近微米級的精密制作；極薄的膜層仍具極優的電性能、物理機械性能和防腐蝕功能；并與微機電領域的材質有很好的兼容性。

Parylene的超薄特性

在0.2微米厚時就完全沒有針孔，可以滲入其他材料所不能進入的微細縫隙和孔洞之內，并且孔內和孔口附近的厚度基本相同，故可以在不改變對象的外觀、尺寸、彈性、重量條件下，同時為其提供良好的防護。

Parylene具有極高的絕緣強度及優良的電性能

5微米厚就能耐1000V以上直流擊穿電壓，因此在微機電系統中，Parylene是一極佳的電介質材料。

Parylene優異化學惰性和阻隔性能

對傳感器的防酸、堿和有機溶劑及對水汽和鹽霧等惡劣環境有極佳的阻隔防護能力。

Parylene優良的物理機械性能

Parylene的拉伸強度和屈服強度都很高，對微型電路保護方面具有明顯的優勢，Parylene可在微細小的線路表面形成完整的涂層，大大加強上述較脆弱部位的連接強度。在學術研究領域還用作微型傳動機構和微型閥門的結構材料和防護材料。 Parylene適用于各種傳感器的防護(汽車用、腐蝕環境用、生物醫學用、聲學等)。目前亦導入半導體晶圓封裝等制程。