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沉積原理
 
Parylene采用化學氣相沉積工藝(CVD)。 整個過程是氣態反應,且全程在真空條件下進行,因而涂層非常的均勻 ,此特性是其它涂敷方式難以實現的。


派瑞林沉積原理
派瑞林沉積原理

 

Parylene采用化學氣相沉積工藝(CVD)。 整個過程是氣態反應,且全程在真空條件下進行,因而涂層非常的均勻 ,此特性是其它涂敷方式難以實現的。

沉積過程分為三步驟:
 
1.真空條件下, 以150℃將固態粉末狀的對二甲苯的二聚物 (di-para-xylylene; dimer) 加熱汽化
 
2.以650℃ 將氣態的對二甲苯的二聚物 ,裂解為對二甲苯 (para-xylylene) 的 活性單體(monomer)
 
3.氣態活性單體在室溫下沉積并聚合成聚對二甲苯 (Poly-para-xylylene )的薄膜。

有機高分子薄膜SEM圖標
有機高分子涂裝效果:薄膜層將依被鍍物形狀作均勻的涂布。
有機高分子薄膜SEM圖標
噴霧式與沉浸式涂裝效果:膜層涂布不均,且噴霧式涂布具方向性,一次噴涂無法完全包覆被鍍物。


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